干渉計レーザー（Zygo/HP）の再生及び中古機販売を行っております。また、緊急時用でZygo/HPの両メーカーの中古機を常時在庫しておりますので、緊急でお困りの際はExchange対応も迅速に対応いたします。

●SEMI E111規格に準拠

●150mm角ﾚﾁｸﾙ対応POD

●有害ｶﾞｽ、ﾊﾟｰﾃｨｸﾙからﾚﾁｸﾙを保護する気密性あり

●ﾍﾟﾘｸﾙへのﾀﾞﾒｰｼﾞが無い低ｱｳﾄｶﾞｽ材料を使用

●ﾗｯﾁ機構部、ﾚﾁｸﾙ保持部には独自ﾊﾟｰﾂ採用

●ﾚﾁｸﾙ上下、左右振動ﾊﾟｰﾃｨｸﾙ低減による独自ﾊﾟｰﾂ採用（特許取得済）

●N2/CDAﾊﾟｰｼﾞ対応

●25枚、26枚ｷｬﾘｱ搭載可能

●低ｱｳﾄｶﾞｽ

●耐摩耗性・剛性に優れ、発塵、ｱｳﾄｶﾞｽの少ない材料を採用

●確実な開閉と安全性の向上

●水はけの良い構造で洗浄可能

●Canonｽﾃｯﾊﾟｰ対応ｹｰｽ

●低ｱｳﾄｶﾞｽ・ESDに優れた材料使用

●Nikonｽﾃｯﾊﾟｰ対応ｹｰｽ

●低ｱｳﾄｶﾞｽ・ESDに優れた材料使用

●ﾏｽｸ支持部は低摩耗特殊材料使用

ステッパー、アライナー装置内用のケミカルフィルターを製作をしています。酸、アルカリ、有機性ガスを取る三層構造フィルターが特徴です。TMS専用フィルターもございます。

コータデべ装置より発生する有機性ガスを取る特徴があります。

ＨＭＤＳからのガス及び、ＴＭＳ、低沸点ガスを取るのが特徴です。

SOC社製の—He-Neレーザーを取り扱っております。

（Ｎｉｋｏｎ純正採用、Ｃａｎｏｎ承認済みです）

Ｎｉｋｏｎ用　

—ＬＩＡ  （10mW） 再生

—ＬＳＡ   （5mW）再生 —

ＡＲＬ   （5mW）再生

⇒お客様の使用済み品レーザーをお引取り後、新品のチューブに交換し、光軸調整後出荷いたします。

—Canon用 —10mW　 5mW

⇒常時在庫してますので、即日出荷対応可能です。

モーター/ドライバー/電源等の各種電装系パーツの修理の他、生産・販売終了品の各種中古品・新古品の販売を行っております。

メーカー名、型式をお知らせ頂ければ、中古品・新古品の入手・修理の可否を確認し、折り返しご連絡いたします。
在庫状況・価格・納期等についてはお気軽にお問い合わせください。