
修理・メンテナンス及び中古真空ポンプ販売を行っております。
各種メーカーの豊富な在庫を取り揃えておりますので、緊急時のスワップ対応及び貸出等、様々なご要望にも迅速に対応いたします。

樹脂及び金属製フォトマスクケース、RETICLE SMIF POD、ウエハーキャリア等の販売を行っております。

樹脂・金属等各種材料での新規設計・セカンドパーツ製作、干渉計レーザー及びモーター/ドライバー/電源等の各種電装系部品の修理を行っております。
また、国内製造中止の各種新品・中古品等の販売も行っております。

導入配管・排気配管から拡散炉まで、様々なヒーターの需要にお応えいたします。
装置メーカーには難しいキメ細やかな対応と低価格を実現いたします。